HEIZUNG VOR DER BELICHTUNG EINSTELLEN
Wenn die größte Kammer hinterherhinkt, erhöht eine bloße Verlängerung der Belichtungsphase die thermische Belastung aller anderen Kammern.
Wir verwenden stattdessen ein moduliertes Heizprofil, um den Temperaturunterschied vor Beginn der Belichtung schrittweise zu verringern. Dies führt zu einer gleichmäßigeren Akkumulation von F₀ im gesamten Mehrkammersystem.


